Основные положения теории диффузии

Диффузией называется процесс переноса атомов в результате теплового движения. Направленная диффузия атомов в твердом теле возникает при наличии градиента концентрации или градиента температур. В полупроводниковой промышленности чаще применяется направленная диффузия с использованием градиента концентрации примеси.

Оборудование (диффузионные печи) должно обеспечивать изотермический нагрев с точностью не хуже ± 0,5°С на уровне 1100°С. Это вызвано тем, что коэффициент диффузии зависит от температуры как

(1)

где D0 - постоянная, численно равная коэффициенту диффузии при бесконечно большой температуре; DE - энергия активации диффузии (для основных диффузантов в кремнии составляет 3,5 - 4,3 эВ); k - постоянная Больцмана, эВ/К; T - температура.

Статья в тему

Телеграфная связь РФ
Связь Российской Федерации (СРФ) на качественно новом этапе исторического развития определяется новым геополитическим положением России, происходящими в стране экономическими преобразованиями. Изменение статуса ЕАСС и образование на ее основе национальных сетей стран - бывших республик СССР, отказ о ...